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STSがご提供できるソリューションの例:エレクトロニクス

半導体用薄膜の設計

半導体トランジスタはそのサイズが小さくなればなるほど消費電力は小さくなり計算速度は向上します。一方で絶縁体の薄膜化に伴うリーク電流が大きな問題となっています。従来のシリコン酸化膜に勝る誘電率を持つ薄膜( High- κ膜)を設計する必要があります。